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單晶硅棒

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晶棒規(guī)格
 
導電類型 生長方式 摻雜物 電阻率
(Ω.cm)
氧含量
(atoms/cm3)
碳含量
(atoms/cm3)
P CZ 0.5~3, 3~6 ≦1X1018 ≦5X1016
N CZ 0.5~3, 0.6~3.5 ≦0.95X1018 ≦5X1016
導電類型 位錯密度 
(Etch Pit Density) (/cm2)
少子壽命
(μs)
單晶晶向
(Degree)
直徑
(mm)
晶棒長度 
(mm)
P ≦3000 ≧15 <100>±3 100.0~200.0 100~1300
N ≦3000 ≧100 <100>±3 100.0~200.0 100~1300
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